【酒屋の息子】MacのCPUがARMに Part41【隔離施設】 (561ﾚｽ)
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97: (ﾜｯﾁｮｲ cec0-MmH2) 2023/09/13(水)16:25 ID:4MZXSBCh0(3/3) AAS
N3Bは多重露光だから歩留まりが悪いのだと思う
外部ﾘﾝｸ[html]:pc.watch.impress.co.jp
>ただこのN3Bもかなり難産なプロセスであった。具体的にはEUV露光だけで25回、しかもダブルパターニングが必要となっていた。
>トランジスタ層はともかく配線層でもダブルパターニングが必要なほど「攻めていた」らしい。ただこの結果歩留まりはなかなか上がらなかった。
本命はN3Eだね
こっちはシングルパターニング
>N3E(Enhancement)は途中で方針を変更。EUV露光も19回に削減され、しかもシングルパターニングでも行ける
>この変更されたN3E、まだプロセスの開発段階でN3Bより高い歩留まりを実現した
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