【酒屋の息子】MacのCPUがARMに Part41【隔離施設】 (561ﾚｽ)
【酒屋の息子】MacのCPUがARMに Part41【隔離施設】 http://egg.5ch.net/test/read.cgi/mac/1682942762/
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97: 名称未設定 (ﾜｯﾁｮｲ cec0-MmH2) [] 2023/09/13(水) 16:25:32.01 ID:4MZXSBCh0 N3Bは多重露光だから歩留まりが悪いのだと思う https://pc.watch.impress.co.jp/docs/column/tidbit/1498583.html >ただこのN3Bもかなり難産なプロセスであった。具体的にはEUV露光だけで25回、しかもダブルパターニングが必要となっていた。 >トランジスタ層はともかく配線層でもダブルパターニングが必要なほど「攻めていた」らしい。ただこの結果歩留まりはなかなか上がらなかった。 本命はN3Eだね こっちはシングルパターニング >N3E(Enhancement)は途中で方針を変更。EUV露光も19回に削減され、しかもシングルパターニングでも行ける >この変更されたN3E、まだプロセスの開発段階でN3Bより高い歩留まりを実現した http://egg.5ch.net/test/read.cgi/mac/1682942762/97
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