【酒屋の息子】MacのCPUがARMに Part41【隔離施設】 (561ﾚｽ)
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(ﾜｯﾁｮｲ cec0-MmH2)
2023/09/13(水)16:25
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97: (ﾜｯﾁｮｲ cec0-MmH2) [] 2023/09/13(水) 16:25:32.01 ID:4MZXSBCh0 N3Bは多重露光だから歩留まりが悪いのだと思う https://pc.watch.impress.co.jp/docs/column/tidbit/1498583.html >ただこのN3Bもかなり難産なプロセスであった。具体的にはEUV露光だけで25回、しかもダブルパターニングが必要となっていた。 >トランジスタ層はともかく配線層でもダブルパターニングが必要なほど「攻めていた」らしい。ただこの結果歩留まりはなかなか上がらなかった。 本命はN3Eだね こっちはシングルパターニング >N3E(Enhancement)は途中で方針を変更。EUV露光も19回に削減され、しかもシングルパターニングでも行ける >この変更されたN3E、まだプロセスの開発段階でN3Bより高い歩留まりを実現した http://egg.5ch.net/test/read.cgi/mac/1682942762/97
は多重露光だから歩留まりが悪いのだと思う ただこのもかなり難産なプロセスであった具体的には露光だけで回しかもダブルパターニングが必要となっていた トランジスタ層はともかく配線層でもダブルパターニングが必要なほど攻めていたらしいただこの結果歩留まりはなかなか上がらなかった 本命はだね こっちはシングルパターニング は途中で方針を変更露光も回に削減されしかもシングルパターニングでも行ける この変更されたまだプロセスの開発段階でより高い歩留まりを実現した
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